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精密加工和超精密加工方法：

根據加工方法的機理和特點，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結合加工和變形加工三大類。

(1)去除加工

又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統的機械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

(2)結合加工

利用物理和化學方法，將不同材料結合在一起。按結合的機理、方法、強弱等，它又分為附著、注入和連接三種。①附著加工又稱為沉積加工，是在工件表面上覆蓋一層物質，是一種弱結合，典型的加工方法是鍍;②注入加工又稱為滲入加工，是在工件表面上注入某些元素，使之與基體材料產生物理化學反應，是具有共價鍵、離子鍵、金屬鍵的強結合，用以改變工件表層材料的力學機械性質，如滲碳滲氮等;③連接是將兩種相同或不同材料通過物化方法連接在一起，如焊接、粘接等。

(3)變形加工

又稱為流動加工，利用力、熱、分子運動等手段，使工件產生變形，改變其尺寸、形狀和性能。

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